激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范JJF 2160-2024.pdf
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激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范JJF 2160-2024.pdf
《激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范》講解了激光共聚焦顯微鏡的校準規(guī)范及其詳細的技術要求。該規(guī)范由全國幾何量長度計量技術委員會歸口，由中國計量科學研究院、哈爾濱工業(yè)大學等單位起草。規(guī)范涵蓋了激光共聚焦顯微鏡的計量特性，包括水平方向長度測量誤差、垂直方向長度測量誤差、水平方向長度測量重復性、垂直方向長度測量重復性、水平方向正交誤差、畸變、最大可測傾角、水平方向拼接誤差、垂直方向拼接誤差和載物臺定位誤差。同時，規(guī)范還詳細規(guī)定了校準條件、環(huán)境條件、校準項目和校準用標準器，并提供了具體的校準方法。此外，規(guī)范還包括校準結果的表達和復校時間間隔，以及附錄中的不確定度評定和校準證書格式。
《激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范》適用于激光共聚焦顯微鏡的校準工作，特別適合于從事材料科學、微納米加工、半導體器件和生命科學研究的實驗室和技術人員。該規(guī)范不僅為相關行業(yè)的技術人員提供了詳細的校準指南，還確保了激光共聚焦顯微鏡在各種應用中的準確性和可靠性。其他基于共聚焦原理的顯微鏡校準也可以參考本規(guī)范進行操作。
