壓晶體片用高溫箱式電爐技術安全操作規程.docx

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文檔編號：9478

上傳時間：2021-03-17

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關鍵詞：: 晶體高溫箱式電爐技術安全操作規程

資源簡介：: 《壓晶體片用高溫箱式電爐技術安全操作規程》講解了壓晶體片用高溫箱式電爐的操作規程和安全措施。該規程詳細說明了操作前的檢查步驟，如檢查硅碳棒的導電性和發熱均勻性、線路暢通和接地可靠性。操作完畢后，需先關閉開關，切斷外接電源，并將調壓器回檔到第一檔。在工作過程中，必須嚴格控制電爐溫度，加溫時應緩慢升溫，最高溫度不超過1350℃，調壓時應由低到高，最高調至第五檔，最大功率不超過8千瓦。爐溫高于400℃時，禁止開啟爐門和取放被燒物件。爐內嚴禁灼燒酸、堿、易還原的物質和氫氣以及潮濕物資、氯物等。熱電偶和高溫儀表應定期校對，發現故障時，應及時由專人排除。爐內安裝的硅碳棒，每爐的阻值應相近似，偏差不超過20%；硅碳棒老化到一定程度，達不到發熱要求時，應及時更換，更換的硅碳棒應與原硅碳棒阻值相近。爐膛熔化或陷塌、跑溫時，應及時大修，更換爐襯；爐膛內要鋪墊氧化鋁粉末，并經常清除雜物。

《壓晶體片用高溫箱式電爐技術安全操作規程》適用于使用高溫箱式電爐進行壓晶體片生產的工廠和實驗室。特別是從事高溫材料處理、半導體制造、電子元件生產等行業的技術人員和操作人員，應嚴格按照規程操作，確保設備的安全運行和人員的安全。

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