擴散泵抽氣系統常見的故障及其排除措施.docx

上傳人：一***

文檔編號：94553

上傳時間：2022-02-10

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關鍵詞：: 擴散泵抽氣系統常見故障及其排除措施

資源簡介：: 《擴散泵抽氣系統常見的故障及其排除措施》講解了擴散泵抽氣系統在運行過程中可能出現的多種常見故障及相應的處理方法。當系統不漏氣但極限壓力無法達到預期時，可能是由于系統設計不合理或真空規電極放氣導致測量不準。長時間使用后性能下降，主要因為擴散泵油氧化變質，需更換新油并按照規定步驟清洗烘干泵芯再裝配。突然大氣進入擴散泵內部時，應立即關閉高真空閥門并停止加熱以防止損壞，之后進行抽氣試驗判斷是否需要換油。拆裝后若真空度無法提升，應檢查系統的漏氣率、加熱器狀態、供電電壓和冷卻情況等。機組抽氣性能突變且未改動系統時，可能是電爐絲或保險絲斷裂。前級泵工作異常同樣影響擴散泵正常運作。環境溫度、濕度和冷卻水溫度的變化對抽氣性能有較大影響，高溫環境下性能會降低。加熱功率調整不當也會造成工作狀態不穩定，建議找到返油率最低點的合適溫度。油蒸氣返流污染系統則會導致極限壓力不達標，可參考相關文獻改進。

《擴散泵抽氣系統常見的故障及其排除措施》適用于涉及真空技術應用的行業領域，如半導體制造、材料科學實驗、精密光學加工等。這些行業中使用擴散泵進行高真空環境的創建和維持是關鍵環節之一。文檔為操作人員提供了詳細的故障排查指南，幫助他們快速識別并解決可能遇到的問題，確保設備正常運行，提高工作效率。此外，它還適用于從事真空系統維護保養的專業技術人員，以及負責實驗室或生產車間設備管理的工作人員。

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