氮化鎵化學分析方法痕量雜質元素含量的測定輝光放電質譜法YST1654-2023.pdf

上傳人：一***

文檔編號：375799

上傳時間：2025-02-24

格式：PDF

頁數：9

大小：626.93KB

文檔加載中……請稍候！
如果長時間未打開，您也可以點擊刷新試試。

下載文檔到電腦，查找使用更方便

1.98 金幣

下載	加入VIP,免費下載

還剩頁未讀，繼續閱讀

舉報

版權申訴 word格式文檔無特別注明外均可編輯修改；預覽文檔經過壓縮，下載后原文更清晰！ 立即下載

配套講稿：: 如PPT文件的首頁顯示word圖標，表示該PPT已包含配套word講稿。雙擊word圖標可打開word文檔。
特殊限制：: 部分文檔作品中含有的國旗、國徽等圖片，僅作為作品整體效果示例展示，禁止商用。設計者僅對作品中獨創性部分享有著作權。
關鍵詞：: 氮化鎵化學分析方法痕量雜質元素含量的測定輝光放電質譜法YST1654-2023 氮化化學分析方法痕量雜質元素含量測定輝光放電質譜法 YST1654 2023

資源簡介：: 《氮化鎵化學分析方法痕量雜質元素含量的測定輝光放電質譜法》講解了針對氮化鎵材料中痕量雜質元素定量分析的方法。該標準基于輝光放電質譜技術，旨在為半導體行業中廣泛應用的氮化鎵基器件提供精準的成分檢測依據。文檔詳細描述了用于樣品準備的技術規范，從樣品制備過程中的處理步驟、環境條件到具體操作手法進行了說明。對測試儀器的選擇和校準提出了明確建議，并規定了在測量過程中應遵循的操作規程以及質量控制措施。對于可能出現影響實驗數據結果的各種誤差源也做了列舉與分析，給出了相應的修正方法。此外，報告結果的形式及準確度表述方式也有清晰的規定。為了保證不同實驗室之間測定結果的一致性，還對重復性與再現性的要求做出了界定。

《氮化鎵化學分析方法痕量雜質元素含量的測定輝光放電質譜法》適用于從事半導體材料研發和生產的機構，在進行氮化鎵及相關化合物中痕量金屬和其他雜質檢測時可作為技術參考文件。對于高等院校、科研院所等研究機構而言，在開展新材料科學基礎研究過程中涉及微量或超微量元素分析環節同樣具有重要指導意義。它也是相關質量監督檢驗檢疫部門實施產品質量監測評價的重要工具，以確保產品符合行業標準和技術要求。

展開閱讀全文

安全人之家所有資源均是用戶自行上傳分享，僅供網友學習交流，未經上傳用戶書面授權，請勿作他用。