金及金合金靶材GBT23611-2023.pdf

《金及金合金靶材GBT23611-2023》講解了金及金合金靶材的相關標準與技術規范。這項標準圍繞著金以及含金的合金材料作為靶材的應用進行了詳細闡述，內容包含靶材的尺寸、外觀質量、化學成分、微觀組織等多個方面的具體要求。標準明確了對金元素及其與其它金屬形成的合金，在制作成為靶材的過程中應遵循的技術指標。從尺寸方面看，規定了允許偏差范圍，確保不同批次的靶材具有良好的一致性，滿足工業化生產的需求。在外觀質量上，強調表面不應存在裂紋、氣孔等瑕疵，這直接決定了濺射過程中的穩定性以及最終產品的性能表現。關于化學成分，對金和其它合金元素的含量做了嚴格界定，保證材料性質達到理想狀態。針對微觀組織，提出晶粒度大小的標準，這是影響靶材物理特性和工作性能的關鍵因素之一。

《金及金合金靶材GBT23611-2023》適用于從事金及金合金靶材生產制造的企業、研究機構與質檢部門等。這些主體在進行相關產品研發、生產工藝設定及產品質量檢驗時，都需要依據該標準操作，確保所生產的金及金合金靶材符合既定的質量要求，并能夠在諸如半導體工業、超大規模集成電路制備、平面顯示器件等諸多領域可靠地充當原材料或關鍵耗材，為后續加工工序提供穩定且高質量的基礎保障。