關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡 校準(zhǔn)規(guī)范JJF(冀) 213-2023.pdf

《關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》講解了河北省市場監(jiān)督管理局發(fā)布的針對放大倍數(shù)為20k至200k的關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）的校準(zhǔn)要求。規(guī)范詳細(xì)描述了用于該儀器校準(zhǔn)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和程序，確保測量精度符合要求。文檔介紹了儀器的工作原理：在高真空條件下，通過電子槍發(fā)射的電子束轟擊樣品表面產(chǎn)生二次電子信號，轉(zhuǎn)換為圖像，并通過量測軟件確定線條寬度值。關(guān)鍵術(shù)語包括線寬和線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板，明確了這些專用名詞的具體定義及應(yīng)用情境。技術(shù)特性涉及示值誤差與重復(fù)性的規(guī)定。對于儀器正常工作所需環(huán)境條件進(jìn)行了明確界定，包括溫濕度、潔凈度等要素，以避免外界因素干擾測量結(jié)果。同時(shí)列出了必備的標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)器及其技術(shù)規(guī)格，例如線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板需達(dá)到U=3.0nm（k=2）擴(kuò)展不確定度。在進(jìn)行校準(zhǔn)操作時(shí)，需要準(zhǔn)備充分且使設(shè)備處于穩(wěn)定狀態(tài)后按照指定步驟開展測量，并特別強(qiáng)調(diào)X、Y軸向兩次不同的線寬測量過程，確保多角度準(zhǔn)確評估示值誤差，最終結(jié)合所有點(diǎn)位的結(jié)果來判斷CD-SEM的測量性能是否達(dá)標(biāo)。

《關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》適用于微電子行業(yè)中各類線路板以及其他需要精準(zhǔn)測量線條寬度領(lǐng)域的企業(yè)和技術(shù)人員，幫助他們建立正確的校準(zhǔn)實(shí)踐。該標(biāo)準(zhǔn)同樣對科研機(jī)構(gòu)的研究人員有重要指導(dǎo)意義，在材料科學(xué)、納米技術(shù)等相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)中發(fā)揮重要作用。此外，計(jì)量檢測單位也能依據(jù)此文檔制定更嚴(yán)格、更合理的測試方案和服務(wù)條款，提高業(yè)務(wù)能力，為制造業(yè)提供可靠的質(zhì)量保證支持。